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真空區(qū)域的劃分及前級(jí)真空泵的選擇
更新時(shí)間：2011-12-26　點(diǎn)擊量：6224

真空泵真空區(qū)域的劃分

真空區(qū)域
壓強(qiáng)范圍
托（Torr）
帕（Pa）
低真空
760~10
101325~1333
中真空
10~10-3
1333~1.33×10-1
高真空
10-3~10-8
1.33×10-1~10-6
超高真空
10-8~10-12
10-6~10-10
*真空
＜10-12
＜10-10

對(duì)于需要配前級(jí)泵的抽氣機(jī)組，主泵選完之后，重要的問(wèn)題是如何選配合適的前級(jí)泵和預(yù)抽泵。選配前級(jí)泵的原則是：
    （1）前級(jí)泵在主泵出口處造成的壓力應(yīng)低于主泵的大排氣壓力
    （2）前級(jí)泵應(yīng)保證始終及時(shí)排出主泵所排出的氣體流量。
    （3）兼作預(yù)抽泵的前級(jí)泵要滿足預(yù)抽時(shí)間及預(yù)抽真空度的要求。
    根據(jù)主泵的工作特性不向，配泵可分為兩種情況：一種是主泵需要配前級(jí)泵，如擴(kuò)散泵、分子泵等；另一種是主泵只需要配預(yù)抽真空泵，而不需要配前級(jí)泵，如各種吸附冷凝泵等。
     主泵配前級(jí)泵計(jì)算時(shí)，需要前級(jí)泵在主泵出口處形成的壓力始終低于該泵的大排氣壓力，主真空泵才能正常工作。普通的油擴(kuò)散泵的大排氣壓一般為26~40Pa左右；油增壓泵的大排氣壓力一般為130~260yPa左右。
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